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中西nakanishi氣浮主軸ABT-1600,半導(dǎo)體制造精加工

文章出處:深圳市春亨工具儀器有限公司 人氣:-發(fā)表時(shí)間:2024-11-21 16:40:00

中西Nakanishi氣浮主軸ABT-1600是一款高性能的氣動(dòng)主軸,以下是對(duì)其的詳細(xì)介紹:


一、產(chǎn)品概述


中西Nakanishi氣浮主軸ABT-1600,又稱(chēng)為空氣軸承渦輪主軸,以其高速運(yùn)轉(zhuǎn)、高精度加工和免維護(hù)等特點(diǎn),在制造業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。該主軸通過(guò)空氣壓力使主軸在懸浮無(wú)接觸狀態(tài)下旋轉(zhuǎn),減少了機(jī)械摩擦和振動(dòng),進(jìn)一步提高了加工精度。


二、主要特點(diǎn)


ABT-1600 (1).png


高速運(yùn)轉(zhuǎn):ABT-1600氣浮主軸的轉(zhuǎn)速高達(dá)160,000轉(zhuǎn)/分鐘,這使得它能夠在短時(shí)間內(nèi)完成大量的加工任務(wù),提高生產(chǎn)效率。

高精度加工:主軸跳動(dòng)精度在1μm以?xún)?nèi),對(duì)于半導(dǎo)體晶圓這種對(duì)表面光潔度和尺寸精度要求極高的工件來(lái)說(shuō)至關(guān)重要。高精度的主軸能夠確保在加工過(guò)程中工件表面的均勻性和一致性,減少表面缺陷和誤差。

免維護(hù):由于空氣軸承渦輪主軸的潤(rùn)滑介質(zhì)是空氣,因此無(wú)需定期更換潤(rùn)滑油,減少了維護(hù)成本和維護(hù)周期。

噪音低:空氣軸承渦輪主軸的非接觸式軸承結(jié)構(gòu)可以避免機(jī)械軸承因摩擦產(chǎn)生的噪音,從而實(shí)現(xiàn)了噪音更低的加工環(huán)境。

負(fù)載能力強(qiáng):空氣軸承渦輪主軸采用非接觸式軸承結(jié)構(gòu),可以避免傳統(tǒng)機(jī)械軸承因負(fù)載過(guò)大導(dǎo)致的軸承磨損和失效,因此負(fù)載能力更強(qiáng)。

環(huán)保節(jié)能:空氣軸承渦輪主軸的潤(rùn)滑介質(zhì)為空氣,無(wú)需使用潤(rùn)滑油,從而減少了環(huán)境污染和能源消耗。


三、產(chǎn)品參數(shù)


類(lèi)型:氣動(dòng)主軸

最高轉(zhuǎn)速:160,000轉(zhuǎn)/分鐘

主軸跳動(dòng)精度:1μm以?xún)?nèi)

最大輸出:63W

夾頭:CHA組(φ0.5~4.0mm)

重量:570g(或0.07kg,不同來(lái)源數(shù)據(jù)有差異,但均表示該主軸重量較輕)

軸承氣壓:0.5MPa(空氣消耗量:35/min)

渦輪空氣壓力:0.5MPa(空氣消耗量:150/min)

軸承許用載荷能力:徑向10N或更小,推力20N或更小


四、應(yīng)用領(lǐng)域


ABT-1600氣浮主軸適用于對(duì)加工精度要求較高、加工速度要求較快、對(duì)表面質(zhì)量要求較高的工件加工。具體應(yīng)用領(lǐng)域包括但不限于:


ABT-1600-BT30氣浮主軸 (2).png


半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體晶圓研磨中展現(xiàn)出了卓越的性能,能夠確保晶圓表面的均勻性和一致性,減少表面缺陷和誤差。

精密機(jī)械加工:可用于高光、銑槽、銑削等多種加工任務(wù),提高加工精度和生產(chǎn)效率。

模具制造:在模具的精密加工中,ABT-1600氣浮主軸能夠提供穩(wěn)定、精確的切削性能,確保模具的精度和壽命。


五、注意事項(xiàng)


刀具選擇:ABT-1600氣浮主軸適用于小直徑刀具的夾持,夾持范圍為φ0.5~4.0mm。在選擇刀具時(shí),需確保刀具柄徑符合主軸的夾持范圍。

供氣要求:空氣軸承主軸需要清潔干燥的空氣。在供氣時(shí),需確保氣壓穩(wěn)定且空氣干燥無(wú)雜質(zhì)。

轉(zhuǎn)速與懸伸范圍:在使用時(shí),需根據(jù)加工需求選擇合適的轉(zhuǎn)速,并確保帶軸的磨石和工具安裝在規(guī)定的懸伸范圍內(nèi)。如果工具的總長(zhǎng)度超過(guò)規(guī)定范圍,需在使用前進(jìn)行切割。

綜上所述,中西Nakanishi氣浮主軸ABT-1600以其高速運(yùn)轉(zhuǎn)、高精度加工和免維護(hù)等特點(diǎn),在制造業(yè)中發(fā)揮著重要作用。在選擇和使用時(shí),需充分了解其性能參數(shù)和應(yīng)用領(lǐng)域,并根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行合理的配置和操作。


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