碳化硅晶圓表面打磨，用MSIY自動(dòng)換刀浮動(dòng)主軸

   碳化硅晶圓表面打磨拋光，機(jī)械臂加裝中西NAKANISHI自動(dòng)換刀主軸NR3060-AQC搭配MSIY浮動(dòng)刀柄，功率350W，轉(zhuǎn)速6萬轉(zhuǎn)每分鐘，旋轉(zhuǎn)跳動(dòng)精度1μm以內(nèi)，可實(shí)現(xiàn)徑向軸向雙向打磨。

如圖所示，碳化硅晶圓表面打磨，用人工去除效率低，成本高，若采用自動(dòng)化方式，一能節(jié)省成本，二能提高產(chǎn)品的良品率。這款3060AQC自動(dòng)換刀浮動(dòng)主軸是目前在機(jī)械臂去毛刺領(lǐng)域比較受歡迎的浮動(dòng)打磨主軸。

    3060AQC自動(dòng)換刀浮動(dòng)主軸，除了可以實(shí)現(xiàn)氣動(dòng)換刀之外，還可以實(shí)現(xiàn)徑向、軸向雙向浮動(dòng)，浮動(dòng)力可調(diào)節(jié)，可防止過度打磨的情況發(fā)生，有利于保持產(chǎn)品良好的光潔度。